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重大新闻,默孚龙光纤滑环应用等离子蚀刻机,助力“中国芯”

发布日期:2018-07-07

等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

光纤滑环

全自动等离子蚀刻机的基本原理是在真空低气压下,ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,在下电极的RF 射频作用下,这些等离子体对基片表面进行轰击,基片图形区域的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体生成挥发性物质,以气体形式脱离基片,从真空管路被抽走。全自动等离子蚀刻机工作需要360°旋转,会遇到绕线问题,默孚龙推荐使用MFO系列光纤滑环

光纤滑环

默孚龙MFO系列光纤滑环是目前工业滑环里面技术难度最高的的一个系列产品,主要应用于360度连续旋转且需要保证电源,光纤信号不能中断的场合:如高端机器人、高端物料输送系统、军用车辆上的转动炮塔、远程控制系统、雷达天线、光纤传感等转台(速率台)的高速视频、数字、模拟信号的传输和控制、医疗系统、视频监视系统、保障国家或国际安全系统海底作业系统、紧急照明设备、机器人、展览/显示设备、医疗设备等。

默孚龙拥有强大的研发实力,丰富的经验,独特的设计理念,先进的测试技术,以及数年来的技术积累和对国外先进技术的合作及吸收,使我们的技术始终保持国际领先水平,引领行业。

Tag:光纤滑环 光电滑环 等离子蚀刻机专用滑环 默孚龙


部分滑环参考型号:

型号m312060430路导电滑环|36路导电滑环|42路导电滑环
型号m31206052路导电环|4路导电环|6路导电环
MSP104分体式滑环,整体尺寸非常小,支持4个通路
MSP106分体式滑环,整体尺寸非常小,支持6个通路
MSP112分体式滑环,整体尺寸非常小,支持12个通路
MFO600a系列6路光纤滑环
MFO608系列6进6出6光电组合滑环|光电旋转接头
MFO800系列8路光纤旋转接头|八路光纤滑环
MFO800a系列8路光纤滑环
MJ2030系列内孔30mm空心2进2出气动、液压旋转接头

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